Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices - symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Ed.: R.M. Osgood ..)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| North-Holland | cop. 1983 | USA, New York | xiii, 298 sidor. ill. 24 cm |